1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圆圆的晶振片，起源于多面体石英棒，先被切成闪闪发光的六面体棒，再经过反复的切割和研磨，石英棒最终被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，直径13.98mm）圆片，每个圆片经切边，抛光和洗濯，最后镀上金属电极（正面全镀，背面镀上钥匙孔形），经过检测，包装就能够出厂使用。晶体的质量和寿命不仅影响速度和厚度丈量的正确性，更沉要的是还决定着受节造的过程能否成功实现。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作道理

石英晶体若在晶片的两侧施加机械压力，则在晶片相应的方向大将产生电场，这种物理景象称为压电效应。若是在晶片的两极上加交变电压，晶片就会产朝气械振动，同时晶片的机械振动又会产生交变电场。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分类

此刻市场上常用的有两衷斓点，标称频率别离为5.000MHz、6.000MHz，凭据膜厚节造仪的探头设计分歧，选取分歧的电极状态。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的利用

石英晶振片是晶振膜厚节造仪系统中的速度和厚度传感元件。这些晶体用于所有尺度监控器或节造器以及单、双或多晶体传感器的真空利用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的电极资料

晶振片的电极对膜厚监控至关沉要，目前市场上提供三种尺度电极资料：金、银和合金。 用户所镀的资料分歧，需选用分歧的电极资料产品。

金：是最宽泛使用的传统资料，它拥有低接触电阻，高化学不变性，易于沉积。适合于镀低应力膜料，如镀Al Au Ag Cu。

银：适合于镀高应力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金：适合于镀介质光学膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚监控道理

石英晶体法监控膜厚，重要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增长，则晶振片的固有频率会相应的变动。

晶体的基频越高，节造的活络度也越高，但基频过高时，晶体片会做得很薄，很薄的晶体片易碎，通常选用AT切型频率5～10MHz。选取AT切晶体片，其振动频率对证量的变动极其活络，但却不敏感于温度的变动，拥有精度高、活络度好等怪异的优势，极度适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、银或银铝合金溶于各类酸，不适合再处置利用，必须彻底除去晶振片上的膜层和电极，沉新寄回我司镀上电极。

2、金不溶于硫酸，用户能够自已进行处置，去掉晶振片上膜层，洗濯干净再利用，但沉复利用次数不易太多，不然质量不变性降低影响使用。

8.晶振片洗濯配方: 

20%氟化氢铵水溶液，浸泡6幼时以上，浸泡后投入酒精擦拭，去水即可。